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高溫真空腔光學測試

產品簡介

高溫真空腔光學測試KT-Z4019MRL4T,300X300X170(mm) 氣浮隔振+阻尼隔振+橡膠減震底腳,-196℃至350℃微型高低溫探針臺,小巧輕便,功能齊全。

產品型號:KT-Z4019MRL4T
更新時間:2024-04-30
廠商性質:生產廠家
訪問量:1254
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品牌鄭科探

高品質鋼質蜂巢臺面:

高溫真空腔光學測試

光學隔振平臺由鋼質蜂巢內核、頂板及底板組成,在降低重量的前提下提供了足夠的硬度。光學隔振平臺頂板為高導磁性不銹鋼材料,底板為氧化處理碳鋼板,四周側板內層為碳鋼板外層為黑色鋁塑板。

氣浮隔震裝置:

氣壓式防振裝置,符合 JISD-4101 氣墊耐壓試驗標準 ;自然頻率 3Hz~5Hz,最大使用壓力 4.5Kg/cm^2。;本體采用 Neoprene Rubber,一體成型氣密性佳。防振效果*,一般設備效率可達 97%以上。

高溫真空腔光學測試KT-Z4019MRL4T

196℃至350℃微型高低溫探針臺,結構精美,外觀小巧,搭配4探針,留有石英玻璃觀察窗,主要用途是為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺,氣敏測試,光敏測試等。

高溫真空腔光學測試

高溫真空腔光學測試KT-Z4019MRL4T

真空腔體

類型

高溫型室溫到350℃

高低溫型 室溫到350℃   室溫到-196℃

腔體材質

304不銹鋼 6061鋁合金 可選

腔體內尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體重量

不銹鋼材質 約1.5KG     鋁合金材質 約0.5KG

腔體上視窗尺寸

Φ42mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離)

腔體抽氣口

KF16法蘭(其余接口規格可轉接)

腔體真空測量口

KF16法蘭(其余接口規格可轉接)

腔體進氣口

6mm快擰 或 6mm快插

腔體冷卻方式

腔體水冷+上蓋氣冷

腔體水冷接口


腔體正壓

≤0.05MPa

腔體真空度

機械泵≤5Pa (5分鐘)  分子泵≤5E-3Pa(30分鐘)

樣品臺

樣品臺材質

不銹鋼 銀銅合金 純銀塊

銀銅合金 純銀塊

樣品臺尺寸

26x26mm

樣品臺加熱方式

電阻加熱

電阻加熱 液氮制冷

樣品臺-視窗 距離

11mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm)

樣品臺測溫傳感器

PT100型熱電阻

樣品臺溫度

室溫到400℃

室溫到400℃   室溫到-196℃

樣品臺測溫誤差

±0.5℃

樣品臺升溫速率

高溫100℃/min    低溫7℃/min

溫控儀

溫度顯示

7寸人機界面

溫控類型

標準PID溫控 +自整定

溫度分辨率

0.1℃

溫控精度

±0.5℃

溫度信號輸入類型

PT100 (可選K  S  B型熱電偶)

溫控輸出

直流線性電源加熱

直流線性電源加熱+液氮流速控制器

輔助功能

溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數接口

溫控器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重量

約5.6KG

探針

電信號接頭

配線轉接 BNC接頭   BNC三同軸接頭  SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米

電學性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ     介質耐壓 ≤200V    電流噪聲 ≤10pA

探針數量

4探針(可擴展5探針)

探針材質

鍍金鎢針 (其他材質可選)

探針尖

10μm

手動探針移動平臺

X軸移動行程

20mm    ±10mm(需手動推動滑臺)

X軸控制精度

≥500μm

R軸移動行程

120°    ±60°(需手動旋轉探針桿)

R軸控制精度

≥500μm

Z軸移動行程

2mm    ±1mm

Z軸控制精度

≤50μm(需手動螺紋調節探針桿)







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